News Article
AIX 200/4 RF-S reactor for Nitrides ordered by NGK
Dr. Osamu Oda
Nagoya 467-8530 Japan
Tel: +81 (52) 872-7675
Fax:+81 (52) 872-7499
E-mail: oda@ngk.co.jp
or
Octavia Schirmer
Aixtron AG
Tel: +49 (241) 8909-474
Fax: +49 (241) 8909-149
E-mail: ocs@aixtron.com
E-mail: ocs@aixtron.com
Nagoya 467-8530 Japan
Tel: +81 (52) 872-7675
Fax:+81 (52) 872-7499
E-mail: oda@ngk.co.jp
or
Octavia Schirmer
Aixtron AG
Tel: +49 (241) 8909-474
Fax: +49 (241) 8909-149
E-mail: ocs@aixtron.com
E-mail: ocs@aixtron.com